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深圳市森东宝科技有限公司 主营产品:国产手动探针台,探针测试台,分析探针台,四探针测试仪,探针台生产厂家,晶圆探针台,探针台价格,真空高低温探针台,GGB探针,高频探针,压力探针,半导体测试探针,射频探针,钨刚探针,精密光学平台,光学平台厂家,三维调节探针座,美国GGB探针中国代理商,model 110GHz毫米波探针

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价格:¥电议

品牌名称:$brandModel.Title(进口品牌)型号:CL-4 原产地:中国大陆 发布时间:2018/3/28 9:07:50更新时间:2020/3/18 18:00:33

产品摘要:4英寸高端探针台,适宜4英寸以内样品测试,可放置在手套箱使用,重量轻巧,方便实惠。PS:探针台属于非标产品,均可根据客户需求进行定制;
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产品完善度: 访问次数:745

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手机网站:http://wap.demolistic.com/c95661/

旗舰版网址:http://www.cindbestayiw.com

详细内容

  

 探针台选森东宝-专业探针台生产厂家

公司介绍


深圳市森东宝科技有限公司(Cindbest)是香港森东宝有限公司在大陆的全资子公司,自主研发CINDBEST品牌探针台、激光修复仪、集代理半导体测试仪表的综合型厂家。

 

激光修复仪类型:32寸半自动、32寸手动、70寸半自动、70寸手动激光修复仪。

 

CINDBEST探针台类型:普通晶圆测试探针台、太阳能电池测试探针台、积分球探针台、IGBT高压大电流探针台、磁场探针台、高低温探针台、气敏分析探针台、低温真空探针台、手套箱内探针台。

 

探针台配件:金相显微镜、三丰显微镜、体式显微镜、样品加热变温台、防震桌、屏蔽箱、三轴调节探针座、RF四维探针座、高频探针夹具、管状同轴夹具、管状三轴夹具、弹簧同轴夹具、弹簧三轴夹具、钨探针(硬探针、软探针)、GGB高频探针等各类探针台配件。

 

产品简介

 

CL系列 分为CL-4,CL-6,CL-8三个规格

CL系列探针台测量精度高,操作方便,符合人机工程学。主要应用于半导体行业以及光电行业的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发。

 

 

参数规格

CL系列总体规格特点                                                                                       

  重量:

         CL-4 50KG左右(带显微镜)

         CL-6 60KG左右(带显微镜)

         CL-8 80KG左右(带显微镜)

  尺寸:

         CL-4约 560mm宽*610mm长*550mm高(带显微镜)  

         CL-6 约600mm长*650mm宽*600mm高(带显微镜)

         CL-8 约640mm长*720mm宽*620mm高(带显微镜)

  

 

CL系列探针座台面规格

  探针台台面平整度:5µm。

  CL-4台面可以同时容纳8-10个探针座

    CL-6,CL-8分别可以同时容纳10-12个探针座

    CL-12台面可以同时容纳12个以上探针座

 

卡盘(载物台)规格  (可选配镀金卡盘,高温加热卡盘)

  卡盘尺寸分为4" ,6",8"三种

卡盘平整度:5µm,采用真空吸附方式吸附,带真空吸附孔,中心孔径*小可做到250微米(可根据客户需求定制孔径大小),*小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm,能够吸住尺寸为4"X4"(6"X6",8"X8")。

  卡盘可30度旋转,方便点测时样品在X-Y轴方向上调平。(根据客户需要可定制为360度旋转,旋转角度可微调,微调精度为0.1度,带角度锁定旋钮)。

  卡盘X,Y轴调节旋钮可以注册送体验金的网址卡盘做X-Y方向的移动,移动范围为4"X4"(6"X6",8"X8"),移动精度为20um,配合针座的移动可以保证wafer上的die都能够准确点测到。

 

 


 探针台选森东宝-专业探针台生产厂家

CL-6探针测试台配件

 

 

1、高倍率金相显微镜(选配)

 

 

 

 

 

 

PSM-1000 注册送体验金官网显微镜

采用全新的一体化设计,具有优异的光学成像质量,造型新颖,使用方便,并具有丰富的扩展功能,可以广泛应用于冶金、半导体、电子等行业的制造和研究领域。

 

 

人机工程头部

PSM-1000E双目观察头可以在3-30 转动,调整观察眼点的高度和观察方向,使操作者的使用更加舒适。

 

 

 

 

 

管镜

PSM-1000 的管镜转盘上装有1X NUV 、1X NIR 和2X 管镜,三组管镜之间可以根据需要进行切换,切换简单、方便。其中1X NUV 对355nm 和532nm 波长进行了优化,1X NIR 对532nm 和1064nm 波长进行了优化,当使用这3 个波长的激光器时,可以得到更好的激光透过率。

 

 

光路切换拉杆

通过推拉光路转换拉杆可以方便的对光路进行切换。当转换拉杆往外拉时,双目头和摄像接口的分光比为0: 100 ,此时从摄像接口上入射的激光100% 的进入光路,提高了激光效率;当转换器拉杆往里推时,双目头和摄像接口的分光比为50:50 ,此时即可用双目头观察,同时也可以在摄像接口上使用CCD 摄像头或激光器。

 

偏光观察

主体上留有偏光插孔,插上偏光附件(选配件),可进行偏光观察。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

调焦机构

PSM-1000 的调焦机构转动舒适,工作可靠。调焦机构可承载45 磅(20.4Kg) ,确保安装激光器和CCD 摄像头后,仍然能够正常工作。

 

转换器

PSM-1000 采用4孔可调中转换器,使用随机配送的调中钥匙,可以很方便地调整物镜的齐中。

 

 

 物镜

PSM-1000 采用长工作距离的无应力平场复消色差物镜,提供了优异的成像质量。关于物镜的具体参数请参照APO 物镜样本。

 照明系统

采用同轴垂直照明系统,光源采用外置冷光源。长达2m 的照明光纤和光源遥控器(选配件)给PSM-1000 带来更自由的操作空间。

 

 

 

激光装置

PSM-1000 的摄像接口处装有激光安全定位销,双目头前留有安装激光安全滤色片的位置,并提供补偿垫片。无需专用的激光工具箱,就可以方便的把激光器和激光安全滤色片安装上。

注: 在安装和使用激光器之前,请您仔细阅读激光器和激光安全滤色片的使用手册。

 

 



2、体式显微镜  (可选配高倍率晶相显微镜)

 
 

产品参数和特点:

① 鉴别力高,视场范围大,景深长。

② 工作距离长至115mm。

③ 左右目镜屈光度可调正负5度,能满足不同视力的操作者观察。

④  能随意调节手轮的力矩,满足不同操作者的使用习惯,更可以锁定手轮,方便定倍观察。

⑤ 本显微镜为连续变倍,变倍比为6.3:1 ,物镜变倍范围0.8X-5X。

⑥  双目观察倾斜45度,双瞳距调节范围52-75mm.



产品优点:

产品造型比较新颖。

机械特性优越,操作舒适度高。

光学系统鉴别力达300线对以上,符合标准。

超长的工作距离位于国内同行之首。

独有的3A设计。

创见性人机学设计,产品细节考虑全面。


3A特性:
密封性-------防尘,防油\防水污染
此种接口密封性设计能安全防尘\防油\防水或其它污染-----这就减少了常规的维护,从而降低了总的费用.
防霉性------使其同样适用于闷热或潮湿的环境
此独有的设计保证了显微镜在高温或是潮湿下都能安然无恙
防静电------防静电设计可以释放显微镜内不断产生的静电,防止标本被损坏,保证提高产量和降低产品成本
应用领域:
教学示范,生物工程,IT产业检测,材料分析等领域。


 

3、针座和探针夹具(可选)

                                             

针座规格

BT-200型

BT-100型

BT-40-T型

BT-40型

尺寸

90mmW x 130mmD x 90mmH

90mmW x 130mmD x 90mmH

52mmW x 96mmD x 76mmH

38mmW x 62mmD x 45mmH

重量

1000 克

600 克

300克

200 克

精度

0.35 Micron

0.7 Micron

2 Micron

10 Micron

牙具

200牙/寸

牙具 100牙/寸

40牙/寸

40牙/寸

X-Y-Z线性行程

12mmX12mmX12mm

12mmX12mmX12mm

12mmX12mmX12mm

12mmX12mmX12mm

 

4、JVC模拟CCD


特点

l 1/3寸CCD,44万像素

l 535电视线的水平分辨率

l 0.7Lux的照度(F1.2,25%,AGC开启)

l 50dB的高信噪比(AGC OFF)

l 内置10bit 数字图像处理器

 


Winfast XP100视频采集卡  


特性

可选择的影像来源信号

可以提供不同的输入端子,使其能够连接不同的影像

输出设备,如录放影机、家庭摄影机、雷射光碟机、

影音光碟机及CCD摄影机,提供全方位的解决方案。                        

可编辑剪接影像片段

可以从输入的影像来源做即时的动态捕捉或静态补捉,并存成电脑可以接受并编辑的AVI电影档或一般的图形档,再透过类似Asymetrix Digital Video Producer 4.0, 3D F/X等相关应用软体,便可加入各种特效与剪接编辑

 

 

5、电信测试系统

 

Triaxial线缆

 






 台湾BEST探针夹具

 

 管状夹具





弹簧夹具

 



螺旋夹具




 

Triaxial 转接头  


 

6、探针

美国GGB

型号

针尖直径

针杆直径

针长

材质

根/盒

 

 

软针类:适用于集成电路内部线路点针


 

T-4-5

0.2 微米

0.51mm

51mm

硬钨材质

5

0.2微米直径的针须焊接于镍质针杆上

 

T-4-10

0.7 微米

0.51mm

51mm

硬钨材质

5

0.7 微米针须焊接于镍质针杆上 

 

 

 

硬针类:适用于集成电路电极点针


 

ST-20-0.5

1 微米

0.51mm

38mm

硬钨材质

10

ST-20-1.0

2 微米

0.51mm

38mm

硬钨材质   

10

ST-20-2.0

5 微米

0.51mm

38mm/20mm

硬钨/铍铜材质

10

ST-20-5.0

10 微米

0.51mm

38mm/20mm

硬钨/铍铜材质

10

ST-20-10

20 微米

0.51mm

38mm/20mm

硬钨/铍铜材质

10



7、真空泵

日东工器VP0125


规格:

l 电压:AC220V

l 流量:7L/min            

l 真空度:-60KPa

l 质量:0.7Kg

功能

l 提供真空动力源。

l 配合 CHUCK上的真空吸附孔来固定样品。

l 配合真空吸附型探针座,固定探针座。

特点

● 无油静音,特别适合实验室和洁净室使用。

● 7升/分钟,可24小时无间断运转。

 

 

 

8、防震桌   


特点:隔振支撑采用超薄复合材料气囊、自定心准无摩擦球头摆杆和带附加扩散口的多小孔准层流阻尼技术,隔振性能良好。自动水平,自动充气,全部气动执行元件采用德国FEST0产品,静音空气压缩机气源、噪声低。

 

应用范围:适用于对振动要求高的场所。 如光电测量、全息成像、光栅制作等。轻松 调节,结构稳定可靠。

 

技术参数:

台面为三层夹心蜂窝状支撑结构,采用ICR17优质高导磁不锈钢

平台表面粗糙度0.5〜0.6 um

平面度0.02 ~ 0.05 mm/m2 

固有频率1.5 ~2 Hz

振幅小于1 um

重复定位精度±0.10 mm

工作压力0.2~0.6(Mpa)

           
尺寸可根据客户需求定制

 

 

9、屏蔽箱   

CINDBEST CB-6(选配)

 

 

 

参数和特点

  尺寸:880mm宽x710mm长x1140mm高

  屏蔽光线和电磁干扰。

  匹配探针台和防震桌设计。

  可根据客户定制。

  与探针夹具配合可将测试电信号的漏电精度达到100fa ,可抗2000V高压。

  屏蔽箱上配备转接头,便于在关闭屏蔽箱时线路在箱内外的良好连接。

 

 




10、品牌型号:CINDBEST  HT-400-4

 

 

 

3.1  4英寸卡盘

3.2  直流电源低噪音

3.3  真空吸附:1.中央吸附孔 2.二英寸盘面 3.四英寸盘面

3.4  PID温度注册送体验金的网址器分辨率:1

3.5  温度漂移:≤0.01%FS/

3.6  温度误差:室温加温到300度,任何一区段+-1%

3.7  40段程序编排,前30段具备自动跳转功能

 

 

 

CL-6探针测试台的使用方法

1、 将样品载入真空卡盘,开启真空阀门注册送体验金的网址开关,使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。

 

2、 使用卡盘X轴/Y轴注册送体验金的网址旋钮移动卡盘平台,在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。

 

3、 使用卡盘X轴/Y轴注册送体验金的网址旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。

 

4、 显微镜切换为高倍率物镜,在大倍率下找到待测点,再微调显微镜聚焦和样品x-y,将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。

 

5、 待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢,以防动作过大误伤芯片,当探针针尖悬空于被测点上空时,可先用Y轴旋钮将探针退后少许,再使用Z轴旋钮进行下针,*后则使用X轴旋钮左右滑动,观察是否有少许划痕,证明是否已经接触。

 

6、 确保针尖和被测点接触良好后,则可以通过连接的测试设备开始测试。

 

 探针台选森东宝-专业探针台生产厂家

探针座点针测试

 1、 固定样品

将待测器件载入卡盘,调整好待测位置后,开启真空阀门注册送体验金的网址开关,将WAFER/芯片或其它样品安全且牢固地吸附在卡盘上。

 

 

2、观测待测位置

打开光源,调整光源合适的亮度,使用卡盘X轴/Y轴注册送体验金的网址旋钮移动卡盘平台将待观察点移动至显微镜下,同时调节显微镜的倍率,首先可放到低倍率找到待测点,使用样平台X-Y平移将待测点移动到视野正中间,再更换高倍率物镜,将影像调节清晰。

 

3、 点针

待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座上下左右三个旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢,以防动作过大误伤芯片,当探针针尖悬空于被测点上空时,可先用Y轴旋钮将探针退后少许,再使用Z轴旋钮进行下针,当视野中针尖有向前移动的趋势,证明已经接触。(也可以使用X轴旋钮左右滑动,观察是否有少许划痕,证明是否已经接触)

 

4、测试

确保针尖和被测点接触良好后,则可以通过连接的测试设备开始测试。

 

CL-6探针测试台的注意事项

 

 当您使用本仪器时,可能会碰到一些问题,下表列举了常见的故障及解决方法。

 

症状

可能原因

解决方法

移动样品后画面变模糊

显微镜不垂直

调垂直显微镜

样品台不水平

调水平样品台

样品不平

 

显微镜视场亮度不足,边缘切割或看不到像

转换器不在定位位置上

把转换器转到定位位置上

管镜转盘不在定位位置上

把管镜转盘转到定位位置上

照明的亮度不足

调节光源亮度或者把孔径光栏孔调大

没有装目镜

装上目镜

没有装物镜

装上物镜

显微镜像质变差

目镜脏

物镜脏

管镜脏

对目镜,物镜,管镜脏的地方进行清洁

孔径光栏关的太大或者太小

调节孔径光栏

没有调好焦

调节调焦手轮

样本上盖有盖玻片等介质

移开盖玻片等介质

图像一边清晰,一边模糊

样本倾斜放置

放平样本,或者调节样品台水平

物镜没有旋紧

旋紧物镜

眼睛容易疲劳

双目头的瞳距和操作者不匹配

调节双目头的瞳距

 

目镜视度调节不正确

调节目镜视度

 

照明亮度不合适

调节光源亮度或者孔径光栏孔

 

 

CL-6探针测试台的维护和保养

 

1、 电源使用

电源:220±10%,50—60Hz

 

2、 避免碰撞

探针台所使用的牙具为是非常精密的机械部件,在使用和运输过程中务必注意轻拿轻放,严禁磕碰,以免损坏仪器或影响机械精度。

 

3、环境注册送体验金的网址

使用*佳温度范围为5℃~40℃,*佳湿度是40%到85%,空气中之湿度若低于30%以下,可靠湿度注册送体验金的网址器予以注册送体验金的网址,使维持50%~60%之范围。使用时门窗尽可能关闭,使室内达到除湿效果。机体放置需平坦,不可倾斜或横倒,避免机器发生故障或异常异音。

 

4、 机台清洁

● 每次使用完毕后,需要注意保持清洁,尽量把灰尘吹干尽,以免泥沙等污物将接口堵塞导致接触不良。

● 探针台机体清洁时,避免直接泼水清理,以湿布轻轻擦拭并吹干即可。机体表面有黏着物,可用肥皂水清洗,避免以汽油、石油精、溶剂或喷雾式杀虫剂喷之,以避免发生变色现象。不可用硬物接触机器,以免发生故障或危险。停电或长期不用、外出旅行时,请将电源线插头拔掉以维护机器寿命.

● 定期使用润滑油或润滑脂对活动结构进行清洁和保护。

● U型平台要定期用无水酒精清洗,使用防锈油浸泡一天,然后再使用无水酒精擦拭干净。

 

5、不要随意拆卸

不当的拆卸可能造成仪器损坏或降低精度与性能,因此,除非是特别指定可以拆开的部位,否则不要随意拆卸机械结构。

 

 

 

 

正确操作可以保证设备长时间无故障使用。如果需要维修请与公司售后部门联系。

 

 

售后服务流程

 

 

 

 

应用案例

 

下面是苏州同冠公司CL-6探针台装机图:

 

 
 

型号:CS-4   

CS-4升降探针台

规格

固定样品方式:真空吸附

chuck尺寸:4英寸,圆形(方形可选)

chuck材质:不锈钢(可升级镀金)

chuck旋转:0-360°可带角度锁定,精度0.1°

chuckX-Y轴上的移动行程:4" x4",移动精度:10um(可升级为1um精度)

针座平台:U型平台,可放置6-8个针座

平台升降:可快速升降5mm

 

显微镜:体式三目显微镜,含CCD接口

显微镜放大倍率:16~100倍,可加2X辅助物镜物镜到200

显微镜在Z轴方向的调节范围:50.8mm

 

机台尺寸:400mm x 400mm x 500mm(带显微镜)   

整机重 量:30 Kg  (带显微镜)

 

 

 

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