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优质信息

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  • 价    格: 电议
  • 型    号:Aunion_XY_Nanopositioning_Stages
  • 生 产 地: 访问:15次
  • 发布日期:2019/12/3(更新日期:2019/12/3)

产品简介

亚纳米级二维微动台所属类别: ? 精密定位系统/平移台/扫描系统 ? 压电精密定位系统                &

详细内容

公司简介

亚纳米级二维微动台

所属类别: ? 精密定位系统/平移台/扫描系统 ? 压电精密定位系统
        


                                                

产品简介

亚纳米级二维微动台

 

亚纳米级二维定位工作台!


AU-NPS-XY系列纳米定位工作台采用压电陶瓷直推驱动,以柔性铰链为运动副,使其具有结构紧凑、体积小、无机械摩擦、定位分辨率高等优点。全行程采用电容位移传感器闭环反馈设计,使其达到纳米级的分辨率和重复性。结合数字闭环注册送体验金的网址器,纳米定位工作台的响应时间和稳定时间可达到毫秒量级

 

Nanopositioning Stages,纳米定位工作台,微定位工作台,微动台,压电精密定位系统,二维纳米定位工作台,纳米级二维微动台,压电陶瓷平移台、压电平移台、压电扫描台、压电定位台、压电定位扫描台、压电定位平移台、压电陶瓷扫描台、高精度压电平移台。



AU-NPS-XY-100系列纳米二维定位工作台采用压电陶瓷直推驱动,以柔性铰链为运动副,使其结构紧凑、拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。

 

全行程采用电容位移传感器闭环反馈注册送体验金的网址系统设计,电容位移传感器是将位移变化转换为电容电量信号的变化。电容位移传感器简单易用,而且拥有极高的精度,可达到亚纳米量级。结合数字闭环注册送体验金的网址器,纳米定位工作台的响应时间和稳定时间可达到毫秒量级。低的移动质量和高的刚度结合可以提供非常高的带宽。

 

利用有限元分析对柔性铰链结构进行分析,使其在整个行程中产生的角位移低于25微弧度。在整个行程中可以保持更好的直线性。线性误差小于0.01%,滞后小于0.005%

 

上海昊量光电设备公司推出的亚纳米二维微动台主要包括NPS-XY-100ANPS-XY-100B两款产品。产品性能大体相似。材质有所差异。



其中AU-NPS-XY-100A采用超级不胀钢(因瓦合金)材质,其热膨胀系数极小达到0.3ppm K-1,使热漂移达到最小,这对于纳米级的工作台来说是极其重要的。

 

AU-NPS-XY-100B采用铝合金结构,虽然相对于因瓦合金来说有较高的热膨胀系数(23ppm K-1),但是由于其拥有较轻的移动质量,因此具有更高的速度。

 

 

u  主要特点 

l  亚纳米级的分辨率

l  高的带宽

l  高速响应

l  高的可靠性

l  结构紧凑

l  压电陶瓷驱动

l  柔性铰链设计

l  电容位移传感器闭环反馈

 

u  主要应用 

 高精度显微镜、原子力显微镜、扫描探针纤维镜、近场扫描光学显微镜等。

 

u  产品主要参数

              型号

参数

AU-NPS-XY-100A

AU-NPS-XY-100B

Material

Super   Invar (Bright nickel plated)

Aluminium   (Bright nickel plated)

Size   mm

100 x 100 x 23

100 x 100 x 23

Rangemm

Minimum

± 50

± 50

Typical

± 55

± 55

Maximum



Resonant   frequency: 0 g load HZ

Minimum


450

Typical

350

500

Maximum



Maximum   load kg

Minimum



Typical


1

Maximum

1


Position   noise nm rms

Fast

0.7

0.7

Medium

0.5

0.5

Slow

0.25

0.25

Hysteresis   (peak to peak)

Minimum



Typical

0.005%

0.005%

Maximum

0.01%

0.01%

Linearity   error (peak)

Minimum



Typical

0.01%

0.01%

Maximum

0.02%

0.02%








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